各種光学フィルタの試作・中規模生産、研究開発サポート致します。
コンパクトなイオンソースでありながら高出力なイオン照射を実現
電子雲中和構造
低音環境稼動可能
フィラメントレス、製品汚染少ない
コストパフォーマンス優れ
フィラメントレス構造で、連続可能時間が100時間以上可能となり、発熱少ない、適用気体種類多い、部品に汚染少ない、成膜の安定性、付着力、緻密性などに繋がる。
フィラメントレス構造で、連続可能時間が100時間以上可能となり、発熱少ない、適用気体種類多い、部品に汚染少ない、成膜の安定性、付着力、緻密性などに繋がる。
フィラメントレス構造で、連続可能時間が100時間以上可能となり、発熱少ない、適用気体種類多い、部品に汚染少ない、成膜の安定性、付着力、緻密性などに繋がる。
フィラメントレス構造で、連続可能時間が100時間以上可能となり、発熱少ない、適用気体種類多い、部品に汚染少ない、成膜の安定性、付着力、緻密性などに繋がる。